超純水系統用于電子工業、電廠高壓鍋爐、制藥等。水的電阻率要求接近18MΩ· cm、電解質含一量10 -- 20μg/L，水的純度為99.99999%。超純化水設備的制備一般包括預處理、除鹽、后處理三道工序，目前使用反滲透(RO)和超過濾(UF)聯合技術是深圳純水制備*系統。反滲透能除去90%以上的總溶解鹽、95%以上的溶解有機物、98%以上的微生物及膠體。超濾和微濾( MF)可將系統中產生的微粒、細菌除去，有效地保證終端用水的水質。從超工業純水設備制造的典型的超純水制造工藝流程(圖1)和基本流程(圖2）可見，膜清洗技術在超純水制造中至關重要。預處理通常是由凝聚、過濾和殺生組成，近年來以微濾、超濾來替代，大大簡化預處理過程。

超純水制造中RO膜以聚酰胺卷式組件為主，操作壓力1. 47MPa的低壓下可除鹽99. 5 %以上。二級純水時要求能脫除TOC的復合膜。